ナノ粒子透過型電子顕微鏡 (TEM) は、ナノスケールの粒子や材料の構造や形態を観察し、特徴付けるために広く使用されている重要な顕微鏡技術です。
TEM は高エネルギー電子ビームを使用して、薄いスライスを通してサンプルの微細な詳細を観察します。 TEM では、電子ビームはレンズ システムを通して集束され、サンプルを通過してサンプル内の原子または分子と相互作用します。透過した電子線の情報を収集することで、試料の高解像度画像や回折パターンが得られ、試料の内部構造や組成が明らかになります。
以下は、TEM を使用してサンプルをテストするための一般的な手順です。
1. サンプルの準備: まず、テストするサンプルを十分に薄いサンプルスライスに準備する必要があります。一般的な前処理方法には、機械的スライス、イオン研削、遠心蒸着、集束イオン ビーム (FIB) 切断などがあります。
2. サンプルのロード: 準備したサンプル スライスを TEM サンプル キャリア上に置き、固定と安定性を確認します。
3. 装置設定：TEMに必要な加速電圧、フォーカス、アライメント機能などのパラメータを設定します。通常、必要な画像情報を取得するには、適切なレンズ設定とモードを選択する必要があります。
4. 観察と調整: サンプルホルダーを TEM 装置に挿入し、接眼レンズまたは顕微鏡を使用してサンプルを観察します。適切な倍率の下で、サンプルの形態と構造が要件を満たしているかどうかを観察し、必要に応じて調整および最適化します。
5. Image capture: Select appropriate lens settings and exposure time to capture high-resolution images of the sample through the TEM system. Images from different regions and angles can be collected to obtain more comprehensive information.
6. データ分析: 粒子サイズ、表面形態、結晶構造などの測定を含む TEM 画像を分析および解釈します。元素組成および結晶構造に関する情報を取得するために、対応するエネルギー スペクトル分析および回折パターン分析も実行できます。
TEM は、ナノ粒子、ナノ材料、ナノ構造などを研究するために一般的に使用される高解像度の顕微鏡技術です。ナノスケールでの詳細な観察と分析が可能であり、材料の構造特性、ナノ粒子の形態と組成の理解、ナノスケール現象の研究に重要な役割を果たします。
